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精密機器における気体軸受の応用―測定用テーブルへの応用―

発行	1986 年（Vol. 31 ） 9 号 625 頁
出典	トライボロジスト
種別	展望・総説・解説
特集
標題	精密機器における気体軸受の応用―測定用テーブルへの応用―
著者	田中信章,小美濃武久
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