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高周波スパッタリング法による二硫化モリブデン膜の潤滑特性に関する研究（第3報）―被膜の接触電気抵抗特性および諸条件下における潤滑特性―

発行	1986 年（Vol. 31 ） 10 号 721 頁
出典	トライボロジスト
種別	論文・寄書
特集
標題	高周波スパッタリング法による二硫化モリブデン膜の潤滑特性に関する研究（第3報）―被膜の接触電気抵抗特性および諸条件下における潤滑特性―
著者	西村允,鈴木峰男,宮川行雄
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