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薄膜の機械的特性評価

発行	1987 年（Vol. 32 ） 7 号 475 頁
出典	トライボロジスト
種別	展望・総説・解説
特集
標題	薄膜の機械的特性評価
著者	柳沢雅広,塚本雄二,木村嘉啓
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