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二硫化タングステンスパッタ膜の潤滑特性

発行	1988 年（Vol. 33 ） 1 号 45 頁
出典	トライボロジスト
種別	論文・寄書
特集
標題	二硫化タングステンスパッタ膜の潤滑特性
著者	三宅正二郎,平野元久,大幡浩平,加藤梅子
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