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高速原子線スパッタ法による固体潤滑膜形成技術

発行	1990 年（Vol. 35 ） 3 号 163 頁
出典	トライボロジスト
種別	展望・総説・解説
特集
標題	高速原子線スパッタ法による固体潤滑膜形成技術
著者	桑野博喜
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