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超硬質膜の成膜技術およびその工具への応用

発行	1990 年（Vol. 35 ） 6 号 392 頁
出典	トライボロジスト
種別	展望・総説・解説
特集
標題	超硬質膜の成膜技術およびその工具への応用
著者	村川正夫
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