トライボロジスト検索システム

表面形状の計測技術―SEMによる三次元測定法―

発行1990 年(Vol. 35 ) 11 号 814 頁
出典トライボロジスト
種別展望・総説・解説
特集トライボロジーにおける計測技術の進歩
標題表面形状の計測技術―SEMによる三次元測定法―
著者田口佳男
論文(PDFファイル)