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表面洗浄技術の現状と課題

発行	1992 年（Vol. 37 ） 3 号 218 頁
出典	トライボロジスト
種別	展望・総説・解説
特集	クリーン環境とトライボロジー
標題	表面洗浄技術の現状と課題
著者	平塚豊
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