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超精密加工とマイクロトライボロジー

発行	1992 年（Vol. 37 ） 11 号 913 頁
出典	トライボロジスト
種別	展望・総説・解説
特集	マイクロトライボロジー
標題	超精密加工とマイクロトライボロジー
著者	森勇藏,山内和人
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