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ＰＴＦＥスパッタ膜の摩擦耐久性

発行	1993 年（Vol. 38 ） 9 号 817 頁
出典	トライボロジスト
種別	論文
特集
標題	ＰＴＦＥスパッタ膜の摩擦耐久性
著者	山田良穂,永山裕一,田中久一郎
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