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スパッタカーボン表面へのふっ化炭素系潤滑膜の吸着と安定性(第1報)―光学的観察―

発行1994 年(Vol. 39 ) 2 号 129 頁
出典トライボロジスト
種別論文
特集
標題スパッタカーボン表面へのふっ化炭素系潤滑膜の吸着と安定性(第1報)―光学的観察―
著者安藤康子,金子礼三,小口重光
論文(PDFファイル)