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スパッタカーボン表面へのふっ化炭素系潤滑膜の吸着と安定性(第1報)―光学的観察―
発行 | 1994 年(Vol. 39 ) 2 号 129 頁 |
---|---|
出典 | トライボロジスト |
種別 | 論文 |
特集 | |
標題 | スパッタカーボン表面へのふっ化炭素系潤滑膜の吸着と安定性(第1報)―光学的観察― |
著者 | 安藤康子,金子礼三,小口重光 |
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発行 | 1994 年(Vol. 39 ) 2 号 129 頁 |
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出典 | トライボロジスト |
種別 | 論文 |
特集 | |
標題 | スパッタカーボン表面へのふっ化炭素系潤滑膜の吸着と安定性(第1報)―光学的観察― |
著者 | 安藤康子,金子礼三,小口重光 |
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