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イオンビームを応用した表面改質技術

発行	1994 年（Vol. 39 ） 11 号 939 頁
出典	トライボロジスト
種別	展望・総説・解説
特集
標題	イオンビームを応用した表面改質技術
著者	中島昌一,石川靖
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