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ナノインデンターによる薄膜の硬度，弾性の測定法

発行	1995 年（Vol. 40 ） 3 号 199 頁
出典	トライボロジスト
種別	展望・解説
特集	薄膜の機械的性質
標題	ナノインデンターによる薄膜の硬度，弾性の測定法
著者	柳沢雅広
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