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超微小硬さ試験法の開発とその材料評価への応用

発行	1995 年（Vol. 40 ） 3 号 205 頁
出典	トライボロジスト
種別	展望・解説
特集	薄膜の機械的性質
標題	超微小硬さ試験法の開発とその材料評価への応用
著者	鈴木敬愛,大村孝仁
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