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超音波スペクトロマイクロスコピーによるセラミックコーティングの非破壊定量評価

発行	1995 年（Vol. 40 ） 3 号 217 頁
出典	トライボロジスト
種別	展望・解説
特集	薄膜の機械的性質
標題	超音波スペクトロマイクロスコピーによるセラミックコーティングの非破壊定量評価
著者	相澤龍彦,伊藤学,木原諄二
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