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微小荷重下でのシリコンウェーハと鋼球の摩擦に及ぼす雰囲気の影響

発行	1996 年（Vol. 41 ） 3 号 263 頁
出典	トライボロジスト
種別	論文
特集
標題	微小荷重下でのシリコンウェーハと鋼球の摩擦に及ぼす雰囲気の影響
著者	浦風和裕,小池豊隆,上村正雄
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