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ダイヤモンド薄膜の気相合成と表面

発行	1996 年（Vol. 41 ） 9 号 712 頁
出典	トライボロジスト
種別	展望・解説
特集	炭素系新材料とトライボロジー
標題	ダイヤモンド薄膜の気相合成と表面
著者	光田好孝
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