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PVD・CVD技術
| 発行 | 1996 年（Vol. 41 ） 11 号 905 頁 |
|---|---|
| 出典 | トライボロジスト |
| 種別 | 展望・解説 |
| 特集 | 高エネルギービーム応用表面改質 |
| 標題 | PVD・CVD技術 |
| 著者 | 渡部修一,三宅正二郎 |
| 論文（PDFファイル） | 本文閲覧(PDFファイル閲覧)ができるのは、 ログインしたトライボロジー学会の「個人会員」のみです。 |
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| 発行 | 1996 年（Vol. 41 ） 11 号 905 頁 |
|---|---|
| 出典 | トライボロジスト |
| 種別 | 展望・解説 |
| 特集 | 高エネルギービーム応用表面改質 |
| 標題 | PVD・CVD技術 |
| 著者 | 渡部修一,三宅正二郎 |
| 論文（PDFファイル） | 本文閲覧(PDFファイル閲覧)ができるのは、 ログインしたトライボロジー学会の「個人会員」のみです。 |