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イオン・プラズマ応用技術

発行	1996 年（Vol. 41 ） 11 号 911 頁
出典	トライボロジスト
種別	展望・解説
特集	高エネルギービーム応用表面改質
標題	イオン・プラズマ応用技術
著者	稲垣訓宏
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