トライボロジスト検索システム

微小すきまの計測技術―レーザ干渉方式―

発行1998 年(Vol. 43 ) 7 号 624 頁
出典トライボロジスト
種別展望・解説
特集トライボロジーを支える計測技術
標題微小すきまの計測技術―レーザ干渉方式―
著者三矢保永
論文(PDFファイル)