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微小距離の高精度光計測技術―光ヘテロダイン方式―
発行 | 1998 年(Vol. 43 ) 7 号 630 頁 |
---|---|
出典 | トライボロジスト |
種別 | 展望・解説 |
特集 | トライボロジーを支える計測技術 |
標題 | 微小距離の高精度光計測技術―光ヘテロダイン方式― |
著者 | 平野雅夫 |
論文(PDFファイル) | 本文閲覧(PDFファイル閲覧)ができるのは、 ログインしたトライボロジー学会の「個人会員」のみです。 |
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発行 | 1998 年(Vol. 43 ) 7 号 630 頁 |
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出典 | トライボロジスト |
種別 | 展望・解説 |
特集 | トライボロジーを支える計測技術 |
標題 | 微小距離の高精度光計測技術―光ヘテロダイン方式― |
著者 | 平野雅夫 |
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