トライボロジスト検索システム

微小距離の高精度光計測技術―光ヘテロダイン方式―

発行1998 年(Vol. 43 ) 7 号 630 頁
出典トライボロジスト
種別展望・解説
特集トライボロジーを支える計測技術
標題微小距離の高精度光計測技術―光ヘテロダイン方式―
著者平野雅夫
論文(PDFファイル)