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窒素プラズマ，窒素含有カーボン膜形成複合処理磁性薄膜のマイクロトライボロジー

発行	1998 年（Vol. 43 ） 11 号 979 頁
出典	トライボロジスト
種別	論文
特集
標題	窒素プラズマ，窒素含有カーボン膜形成複合処理磁性薄膜のマイクロトライボロジー
著者	三宅正二郎,関根幸男,篠木則夫,渡部修一
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