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磁性膜のフッ化炭素ビーム処理によるマイクロトライボロジー特性改善効果

発行	1999 年（Vol. 44 ） 5 号 366 頁
出典	トライボロジスト
種別	論文
特集
標題	磁性膜のフッ化炭素ビーム処理によるマイクロトライボロジー特性改善効果
著者	三宅正二郎,千田貴好,渡部修一,山本洋和
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