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超硬質薄膜のマイクロ摩耗特性

発行	1999 年（Vol. 44 ） 6 号 414 頁
出典	トライボロジスト
種別	展望・解説
特集	これからのマイクロトライボロジー
標題	超硬質薄膜のマイクロ摩耗特性
著者	三宅正二郎
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