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CVD法によるTiおよびTi合金基板へのダイヤモンド膜の合成とその耐摩耗性

発行1999 年(Vol. 44 ) 8 号 629 頁
出典トライボロジスト
種別論文
特集
標題CVD法によるTiおよびTi合金基板へのダイヤモンド膜の合成とその耐摩耗性
著者渋谷佳男,高谷松文
論文(PDFファイル)