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気相堆積c-BN薄膜とその機械的性質

発行	1999 年（Vol. 44 ） 9 号 673 頁
出典	トライボロジスト
種別	展望・解説
特集	硬質材料
標題	気相堆積c-BN薄膜とその機械的性質
著者	高村由起子,吉田豊信
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