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高周波スパッタリングにより作製したAg-Sn合金膜の摩擦特性

発行2000 年(Vol. 45 ) 2 号 158 頁
出典トライボロジスト
種別論文
特集
標題高周波スパッタリングにより作製したAg-Sn合金膜の摩擦特性
著者神谷荘司,冨川貴志,後藤保明,本多文洋
論文(PDFファイル)