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マグネトロンスパッタ法によるカーボン保護膜と表面特性

発行	2000 年（Vol. 45 ） 3 号 191 頁
出典	トライボロジスト
種別	解説
特集	最近の硬質薄膜成膜技術
標題	マグネトロンスパッタ法によるカーボン保護膜と表面特性
著者	神山道也
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