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プラズマ CVD 法による DLC 保護膜
| 発行 | 2000 年（Vol. 45 ） 3 号 198 頁 |
|---|---|
| 出典 | トライボロジスト |
| 種別 | 解説 |
| 特集 | 最近の硬質薄膜成膜技術 |
| 標題 | プラズマ CVD 法による DLC 保護膜 |
| 著者 | 山本尚之 |
| 論文（PDFファイル） | 本文閲覧(PDFファイル閲覧)ができるのは、 ログインしたトライボロジー学会の「個人会員」のみです。 |
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| 発行 | 2000 年（Vol. 45 ） 3 号 198 頁 |
|---|---|
| 出典 | トライボロジスト |
| 種別 | 解説 |
| 特集 | 最近の硬質薄膜成膜技術 |
| 標題 | プラズマ CVD 法による DLC 保護膜 |
| 著者 | 山本尚之 |
| 論文（PDFファイル） | 本文閲覧(PDFファイル閲覧)ができるのは、 ログインしたトライボロジー学会の「個人会員」のみです。 |