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ECR スパッタ法によるカーボン保護膜

発行	2000 年（Vol. 45 ） 3 号 204 頁
出典	トライボロジスト
種別	展望・解説
特集	最近の硬質薄膜成膜技術
標題	ECR スパッタ法によるカーボン保護膜
著者	廣野滋,梅村茂,林孝好,金子礼三
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