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磁気ディスク面を対象とした輪郭形状測定装置の開発と微小うねり評価法

発行	2000 年（Vol. 45 ） 3 号 246 頁
出典	トライボロジスト
種別	論文
特集
標題	磁気ディスク面を対象とした輪郭形状測定装置の開発と微小うねり評価法
著者	原精一郎,神村朋宏,柳和久
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