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ダイヤモンドライクカーボン膜と炭水ボロン膜のスクラッチ特性に与えるイオン注入の効果

発行	2000 年（Vol. 45 ） 6 号 469 頁
出典	トライボロジスト
種別	論文
特集
標題	ダイヤモンドライクカーボン膜と炭水ボロン膜のスクラッチ特性に与えるイオン注入の効果
著者	三宅正二郎,斉藤喬士,渡部修一,加納眞,保田芳輝,馬渕豊
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