トライボロジスト検索システム

AFMを用いた極薄膜の密着性と耐摩耗性の評価

発行	2001 年（Vol. 46 ） 6 号 439 頁
出典	トライボロジスト
種別	解説
特集	ナノトライボロジーを支える評価技術
標題	AFMを用いた極薄膜の密着性と耐摩耗性の評価
著者	梅村茂,廣野滋,安藤康子,金子礼三
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