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ナノインデンテーション法による極薄膜の硬さ評価

発行	2001 年（Vol. 46 ） 6 号 447 頁
出典	トライボロジスト
種別	解説
特集	ナノトライボロジーを支える評価技術
標題	ナノインデンテーション法による極薄膜の硬さ評価
著者	高井治
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