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硬質薄膜の作製技術とトライボロジー

発行	2001 年（Vol. 46 ） 7 号 558 頁
出典	トライボロジスト
種別	入門講座
特集	トライボロジー特論 ―東大大学院講義より―
標題	硬質薄膜の作製技術とトライボロジー
著者	田中章浩
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