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機械加工によるマイクロ加工およびナノ加工への挑戦

発行	2002 年（Vol. 47 ） 6 号 463 頁
出典	トライボロジスト
種別	解説
特集	加工技術の進展とトライボロジー
標題	機械加工によるマイクロ加工およびナノ加工への挑戦
著者	芦田極,森田昇
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