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ダイヤモンド膜からDLC膜まで ―その構造と物性―

発行	2002 年（Vol. 47 ） 11 号 795 頁
出典	トライボロジスト
種別	解説
特集	DLC・ダイヤモンド膜
標題	ダイヤモンド膜からDLC膜まで ―その構造と物性―
著者	斎藤秀俊
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