トライボロジスト検索システム

最近のDLC膜・ダイヤモンド膜の作製技術およびそれら被膜の諸特性

発行	2002 年（Vol. 47 ） 11 号 802 頁
出典	トライボロジスト
種別	解説
特集	DLC・ダイヤモンド膜
標題	最近のDLC膜・ダイヤモンド膜の作製技術およびそれら被膜の諸特性
著者	田中章浩
論文（PDFファイル）	本文閲覧(PDFファイル閲覧)ができるのは、ログインしたトライボロジー学会の「個人会員」のみです。