トライボロジスト検索システム

MEMSにおけるスティクションのメカニズムとその対策

発行	2004 年（Vol. 49 ） 2 号 128 頁
出典	トライボロジスト
種別	解説
特集	MEMSのトライボロジー
標題	MEMSにおけるスティクションのメカニズムとその対策
著者	土谷茂樹
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