トライボロジスト検索システム

MEMSへの空気軸受の適用

発行	2004 年（Vol. 49 ） 2 号 134 頁
出典	トライボロジスト
種別	解説
特集	MEMSのトライボロジー
標題	MEMSへの空気軸受の適用
著者	福井茂寿
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