トライボロジスト検索システム

電子線ホログラフィーを利用した膜厚計測

発行	2005 年（Vol. 50 ） 2 号 134 頁
出典	トライボロジスト
種別	解説
特集	トライボ計測技術の進展
標題	電子線ホログラフィーを利用した膜厚計測
著者	進藤大輔,村上恭和
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