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反応性スパッタ法でローラ上に形成したMo-S-O膜の酸素含有量と潤滑特性の関係
| 発行 | 2005 年（Vol. 50 ） 5 号 416 頁 |
|---|---|
| 出典 | トライボロジスト |
| 種別 | 論文 |
| 特集 | |
| 標題 | 反応性スパッタ法でローラ上に形成したMo-S-O膜の酸素含有量と潤滑特性の関係 |
| 著者 | 小熊清典,池田満昭,砂原賢治,松田健次,兼田楨宏 |
| 論文（PDFファイル） | 本文閲覧(PDFファイル閲覧)ができるのは、 ログインしたトライボロジー学会の「個人会員」のみです。 |
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| 発行 | 2005 年（Vol. 50 ） 5 号 416 頁 |
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| 出典 | トライボロジスト |
| 種別 | 論文 |
| 特集 | |
| 標題 | 反応性スパッタ法でローラ上に形成したMo-S-O膜の酸素含有量と潤滑特性の関係 |
| 著者 | 小熊清典,池田満昭,砂原賢治,松田健次,兼田楨宏 |
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