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CNx膜の摩擦特性に及ぼす雰囲気ガスの影響と超低摩擦実現のための酸素濃度限界

発行	2005 年（Vol. 50 ） 9 号 683 頁
出典	トライボロジスト
種別	論文
特集
標題	CNx膜の摩擦特性に及ぼす雰囲気ガスの影響と超低摩擦実現のための酸素濃度限界
著者	野老山貴行,中村隆,梅原徳次,冨田博嗣,竹之下雪徳
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