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精密位置決めのための超音波モータの摩耗制御

発行	2006 年（Vol. 51 ） 7 号 499 頁
出典	トライボロジスト
種別	解説
特集	摩擦摩耗の積極的利用とその制御技術
標題	精密位置決めのための超音波モータの摩耗制御
著者	足立幸志
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