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DLC・ダイヤモンド膜の製作技術と適用動向

発行	2007 年（Vol. 52 ） 1 号 34 頁
出典	トライボロジスト
種別	解説
特集	表面改質技術
標題	DLC・ダイヤモンド膜の製作技術と適用動向
著者	三宅正二郎
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