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Si含有DLC膜のトライボロジー特性とその応用

発行2007 年(Vol. 52 ) 2 号 120 頁
出典トライボロジスト
種別解説
特集ニュートライボマテリアルとその応用
標題Si含有DLC膜のトライボロジー特性とその応用
著者安藤淳二,中西和之
論文(PDFファイル)