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フッ化炭素混合ガスを用いて製膜した二硫化モリブデンスパッタ膜のトライボロジー特性

発行	2007 年（Vol. 52 ） 2 号 148 頁
出典	トライボロジスト
種別	論文
特集
標題	フッ化炭素混合ガスを用いて製膜した二硫化モリブデンスパッタ膜のトライボロジー特性
著者	相良和仁,西村允
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