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タンガス導入による炭化ホウ素系スパッタ薄膜の摩擦特性向上

発行	2007 年（Vol. 52 ） 4 号 303 頁
出典	トライボロジスト
種別	論文
特集
標題	タンガス導入による炭化ホウ素系スパッタ薄膜の摩擦特性向上
著者	神崎昌郎
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