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マイクロ繊毛アクチュエータ

発行	2008 年（Vol. 53 ） 2 号 88 頁
出典	トライボロジスト
種別	解説
特集	次世代アクチュエータとトライボロジー
標題	マイクロ繊毛アクチュエータ
著者	岩附信行
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