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原子間力顕微鏡を用いた摩耗面の時系列観察法とDLC膜のエロージョンヘの適用

発行	2009 年（Vol. 54 ） 4 号 273 頁
出典	トライボロジスト
種別	論文
特集
標題	原子間力顕微鏡を用いた摩耗面の時系列観察法とDLC膜のエロージョンヘの適用
著者	水野顕,岩井善郎
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